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物镜的特征是光学金相试样切割机的功能的决议要素之一，因而物镜的一些参数皆会标示在物镜镜头上以便让人辨明
除了减少事情间隔以增长目镜与物体间的夹角外，进步光芒传达介质的折射率也是一个办法
既然启齿值决议理解析度，进步启齿值便成为可研讨的偏向，因而把察看物浸入高折射率的介质中就能进步物体的鑑别率，比方水镜以水溶液为介质，其折射率即是1.33，油镜以镜油或甘油为介质，其折射率辨别为1.51及1.47，水镜与油镜在剖析度的效能上可辨别进步20%及40%。
不外溶液间接打仗到试片的方法对试片能否会形成影响有待商讨，固态的Solid Immersion Lens(SIL)便应运而生，它是使用Si製作的半球形透镜间接打仗试片，因而比力合适用来察看晶圆反面所分发的光讯号，而关于体系所收回的雷射讯号也可以较收敛的会合在察看地位上
一样平常目镜所侦测的光讯号加上SIL后所侦测到的光讯号
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